【色母粒产业网】5月28日消息，近日，日本化工巨头三井化学正式对外宣布，将逐步退出其全资子公司下关三井化学生产的三氟化氮(NF3)业务，计划于2026年3月底全面停止生产，并在同年内完成销售收尾工作。三井化学方面表示，此举主要是受到海外市场价格竞争白热化、原材料及公用工程成本攀升，以及维修等运营成本不断上升等多重因素的影响，导致该业务盈利状况极为严峻。尽管公司已采取多项合理化措施与削减成本策略，但仍难以确保业务持续运营所需的利润水平，因此不得不做出退出市场的艰难决定。
据色母粒产业网了解，三井化学在其ICT解决方案事业部的半导体和光学材料部门中，一直负责运营用于半导体和液晶制造设备清洗气体的NF3业务。值得注意的是，三井化学在其长期经营规划“VISION 2030”中，明确提出了以业务组合转型为核心战略，旨在发展成为一家以高增长、高利润的全球特种化学品业务，以及以竞争性衍生品为核心的可持续发展绿色化学品业务为两大支柱的全球性特种化学品公司。此次退出NF3市场的决策，正是该公司对其业务战略与总体目标一致性进行深入评估后的结果。
三氟化氮(NF3)，作为半导体制造领域不可或缺的“隐形关键材料”，在纯净状态下呈现为无色无味的气体，而在低温时则变为不透明固体。该物质具有出色的高温稳定性，可耐受高达627℃的温度。其制备方法多样，包括熔盐电解法、直接氟化氨化钠或氨气法，以及辉光放电法等。NF3在半导体制造中主要用作蚀刻气体，同时也应用于高能燃料和火箭推进剂中作为氧化剂，以及作为氟化剂和制备其他氮的氟化物的原料。特别是在大规模集成电路和显示面板等高端制造领域，高纯度的NF3因其卓越的蚀刻速率和选择性，在化学气相沉积(CVD)腔体清洗工艺中发挥着至关重要的作用。
电子特种气体作为集成电路、显示面板等行业的关键性材料，其重要性不言而喻。然而，尽管我国在大宗气体及中低端产品方面已具备一定规模优势，但在高端特种气体领域仍存在明显差距，多数产品被外资企业所垄断。全球电子特种气体市场主要由美国空气化工、德国林德集团、法国液化空气、日本大阳日酸等国际巨头占据，而国内代表厂商如金宏气体、华特气体等也在积极追赶。值得一提的是，随着国际贸易环境的不断变化，2024年美国发布的新一轮“实体清单”中，首次将电子特种气体公司纳入清单范围，我国南大光电及其多家子公司赫然在列，这无疑为国内电子特种气体产业的发展带来了新的挑战与机遇。
